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导师论文用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术_张敏.pdf - 455.94KB一种用于RFMEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构_缪旻.pdf - 194.22KB一种高性能人造视网膜微刺激器的设计_郑亚莉.pdf - 911.43KB微型MEMS皮拉尼计研究_周吉龙.pdf - 690.84KB微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究_朱正鹏.pdf - 802.93KB基于粘附剂键合的圆片级MEMS塑料封装技术_楼夏.pdf - 506.91KB基于三维集成的红外焦平面阵列技术_鲁文高.pdf - 1.82MB硅通孔_TSV_的工艺引入热应力及其释放结构设计_孙汉(1).pdf - 1.99MB......
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